規(guī)格參數(shù)
| 涂層技術(shù) | Arc |
| 刻蝕 | 側(cè)向燈絲離子源 |
| 弧源數(shù)量 | 10PCS |
| 設(shè)備結(jié)構(gòu) | 前后分體式結(jié)構(gòu) |
| 設(shè)備規(guī)格 | 寬2870*深3635*高2330（mm） |
| 占地 | 寬5800*深5500（mm） |
| 轉(zhuǎn)架載重 | 750KG(可定制) |
| 氣體 | 高純度工業(yè)氣體 |
| 冷卻水 | 3bar、7m³/h |
| 平均功率 | 50KW·h |
| 單爐能耗 | 400kwh |
過程時(shí)間：6~8 H
每日批次：3~4 批
可匹配工藝
該設(shè)備可用于CrAlN ,TiSiN, TiN，AlTiN ，DLC等工藝生產(chǎn)。
◆采用萊寶、島津、霍廷格、VAT等國際一流品牌部件，極大保障了設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性。
◆全自動(dòng)控制系統(tǒng)：工控機(jī)+觸摸屏、一鍵涂層、異常報(bào)警、數(shù)據(jù)備份、能耗統(tǒng)計(jì)、工藝參數(shù)和流程的數(shù)據(jù)記錄以及實(shí)時(shí)顯示。
◆內(nèi)置設(shè)備云，可遠(yuǎn)程診斷和維護(hù)。
◆自主研發(fā)“永磁+旋轉(zhuǎn)”磁場(chǎng)蒸發(fā)源，濺射均勻、無液滴、靶材利用率高。
◆自主開發(fā)設(shè)計(jì)離子源，采用類PID算法，自主研發(fā)智能化操控系統(tǒng)。
◆有效涂層區(qū)域：Φ720*H800
◆4mm標(biāo)準(zhǔn)銑刀裝夾數(shù)：6000PCS
◆1135刀片裝夾數(shù)：25000PCS
定制化工藝： 夸克擁有專業(yè)且經(jīng)驗(yàn)豐富的開發(fā)團(tuán)隊(duì)，依托于專業(yè)的研發(fā)和檢測(cè)設(shè)備，根據(jù)客戶對(duì)產(chǎn)品的性能要求，定制化設(shè)計(jì)、開發(fā)新型工藝。
截止2022年底，夸克在全國成立了八家涂層服務(wù)中心。夸克涂層秉承開放合作理念，在用戶工廠內(nèi)部建立涂層工廠、與本地化伙伴資源互補(bǔ)合建工廠等多重模式合作。同時(shí)歡迎業(yè)界仁人志士加盟，共同致力于涂層裝備國產(chǎn)化及涂層服務(wù)能力提升。
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